Canon single reticle pod
Part No. 99300-00

我々のCANONシングルSMIFポッドは、実績のあるマルチレチクルカセットに
基づいた工法、材料そしてサポートの構造を特徴としております。

レチクルを電場誘起によるダメージから守るという99300‐00の強みは
99100‐00の説明ページに記述されております内容と同じです。

それに加えこのポッドにはCANON社と共同開発された特別なサポート
を特徴として持っており、CANONのリソグラフィー装置に最適化されております。

SEMI規格スタンダードポッドのサポートはレチクルの繊細な箇所に
接触してしまいますが、この99300‐00のサポートのデザインは
接触しないようになっております。

詳細はどうぞお問い合わせください。