SEMI E112 パージ可能マルチレチクルカセット
製品番号 99600-00P

ヘイズは193nmのリソグラフィー工程において最も深刻な影響を及ぼすものです。 そこで、インテグリス社はヘイズの形成率を低減するためのパージシステム「クラリライト」を開発しました。このシステムは、レチクルの収納環境に浄化されたドライエアを継続的に供給します。

この機構をマルチレチクルカセットにも対応できるように、インテグリス社との協業で弊社のSEMI規格準拠のマルチレチクルカセットのパージ可能なバージョンを開発をしました。 これはクラリライトポッドパージステーションにも適応しています。

99600-00P2と99600-00P3の二つのオプションがあります。99600-00P2は、xCDAのポッドへの供給ができるようにパージバルブが備わっています。99600-00P3は、気中浮遊汚染物質を継続的に除去するための浄化カートリッジがカセット底部(右写真)に備わっています。

パージ機構はキャノン用カセットタイプ99400-00にも対応可能です。詳細は弊社にお問い合わせください。インテグリス社のクラリライトヘイズ防止システムの詳細はインテグリス社のウエブサイトをご参照ください。