E-Pod™
SEMI E111 electric field shielding single reticle pod, Part No. 99100-00
電場遮断シングルレチクルポッド
E-PodはSEMIスタンダードシングルレチクルポッド99100-00の最新モデルです。 ASML社, Canon社 そしてNikon社によってテストされ、認可されております。

E-Podは、弊社のマルチタイプレチクルポッドですでに実証済みの工法、材料そして支持構造をベースにしています。

しかし、このポッドの最大の特徴は、レチクルを電場から完全に遮断するための特別の設計、製造がなされていることです。

また、レチクル格納環境から湿気を除去することができるEntegris Clarilite XCDA浄化システムにも対応しています。

レチクル表面から湿気を除去することによって、193nmのリソグラフ工程におけるヘイズ形成の抑制及び光子励起のクロム移動の抑制ができることがわかっています。

金属の蓋とスプリングがSMIFの金属底面と相互にリンクすることによって、レチクルの周囲に完全なファラデーケージを形成し続けます。これが外部の電場がレチクルまで達しないように防護し、電場起因の損傷が起こらないようにします。

ポッド内の表面積を増加させないため、導電ライナーは使用されていません。 (表面積の増加はポッドの洗浄を難しくし、揮発性の汚染物質を内部に閉じこめてしまう可能性があります)

プラスチック製のレチクルポッドでは実現できない高い遮断性能を金属製ファラデーケージでは実現することができます。このことは独立の研究者・機関によって実証されており、論文としても報告されています。

損傷のリスクをさらに低減するため、またレチクルポッドが格納される前まで帯電していた場合のために、補助部分には絶縁処理がなされています(特許出願中)。一般的に広く使用されているポッドでは、レチクルを接地することによって静電気拡散をする設計になっています。

しかし、これはレチクルのESD保護を実現するどころか、実際には電場による損傷リスクを増大させています。マイクロトームは、レチクル取り扱いにおける電場の相互作用のシュミレーションをコンピュータ上でおこなって解明したこの事実を2003年に初めて報告しました。この研究結果は、独立した研究者たちによって検証、そして立証されています 。

レチクルを電場からの完全遮断をする必要性について、われわれはコロラド大学との共同研究によって実証してきました。その成果はこちらに報告されています。

EFMを防止するために、レチクルを取り扱っている環境全体での電場の危険性を十分に減らし、継続的にそれを維持し続けることは、範囲が広いために現実的には不可能です。一番の解決方法は、リソグラフィー工程で使用しない時には完全に遮断できるレチクルポッドの中にレチクルを格納しておくことです。ヘイズと”サン効果”(光子励起のクロム移動)を減らすために極めて乾燥した環境内でレチクルを取り扱うという最近の傾向では、静電気帯電によって発生する問題がより深刻になってきます。

E-Podではファラデーケージによって二重の安全対策ができるという利点があります。静電気のコントロールや工場内での取り扱い過程で何らかの不備があって電場が発生しても、それがレチクルに影響を及ぼすことはありません。 E-Podの使用では、工場内の環境(静電気のコントロールなど)をコントロールするための設備を導入・メンテナンスする必要がないため、その分発生するコストも不要です。そのため、コスト低減にもつながります。レチクルの価格が上昇傾向にある現状、磁場感度の高まり、レチクルの損傷によって発生する不良製品、製造工程の停止によるコスト損失。これらの背景を考慮し、極めて優れたレチクル保護を可能にする弊社のE-Podへの投資をお考えください。

レチクルポッドを製造しているどの業者よりも、弊社はレチクルを電場からの保護に関する深い知識とそれを可能にする製品提供ができる強い自信をもっております。技術的な資料及び、レチクルを電場から保護するための最良の方法についてより詳細な説明をご要望の場合は、どうぞお気軽にお問い合わせください。

THIS IS WHY AN ORDINARY STATIC DISSIPATIVE SMIF POD IS NOT GOOD ENOUGH:

Electric field data recorded inside a static dissipative reticle pod during normal handling, kindly provided by Estion of Germany.