E-Pod?はSEMI規格シングルレチクルポッド99100-00の最新モデルです。 ASML社, Canon社 そしてNikon社によって検証され、認可されております。他のレチクルポッドにおける多くの問題を解消するための設計がなされています。
E-Pod?は、弊社の20年にも及ぶマルチタイプレチクルカセットの製造で培った製造手法、材料、技術サポートに基づいていますが、新しい技術も取り入れられています。
ポッドそのものをファラデーケージにすることによってレチクルを電場から完全に遮断するための特別な設計と製造を取り入れた最初のレチクルポッドです。
レチクル保管環境から湿気を除去するができる?Entegris Clarilite™闖鹿span>XCDAポッド浄化システムと互換性があります。レチクル表面から湿気を除去することによって、193nmのヘイズ形成およびCD劣化を抑制できることが明らかになっています。
また、SMIFポッド内のレチクルにとっての大きなリスクの一つは、ポッドの取り扱い中における物理的な損傷です。従来型のシングルレチクルSMIFポッドでは、レチクルのスライドを防止するために補助具に対してレチクルを下方向に強く押さえつけており、吸収体薄膜の損傷と粒子の生成を引き起こす可能性があります。
しかしながら、この仕組みにおける問題の一つは、上面に強い圧力をかけるほど、接地点に大きな変形が生じます。そのため、この状態で動きが発生した場合には、損傷が増大する可能性があります。また、別な問題としては、SEMI規格では非常に小さい接地点を定義していることから、接地点に極めて強い圧力がかかることになります。
そのため、弊社ではE-Podに新しいオプションを開発しました。ポッドが閉じられると機能する仕組みで、レチクルを持ち上げ、補助ポイントから離す動作をします。
この仕組みによりレチクルははす縁だけで固定され、ポッドの上面の固定装置に支えられます。レチクルはポッド底面とレチクル補助ポイントからは離れた状態になります。このため、取り扱い中の衝撃や振動によって、補助具によるレチクル表面の吸収体被膜への傷の発生を防ぐことができます。
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E-Podの開発において、当初は静電気保護に最も注力していましたが、どの工場にでも起こりうる様々なリスクの解消に対して取り組むようになりました。そして、レチクルの損傷や劣化のリスクを解消するため、他のポッドにはない唯一無二の設計をおこなっています。
製造で使用している材料と手法は、コスト低減や製造の簡易化を目的でなく、製品の適合性やパフォーマンスを重視してベストなものを選択しています。弊社では、ほぼすべての構成パーツを個別に製造しており、一つ一つのポッドの検証は丁寧におこっています。その結果、市場に流通する安価なレチクルSMIFポッドと比べると?E-Pod?は高価なものとなります。しかしながら、損傷したレチクルの交換や再生または損傷したレチクルを使用したことによって製造された不良品の破棄にかかるコストを考慮すると、?E-Podははるかに費用対効果が高いといえます。
E-Pod?は長期間使用することができ、その間いくつものレチクルを保護することができます。そして、他の製品と同様に弊社のR&RプログラムによりE-Podの寿命は使用される間中ずっとということになります。
レチクルポッドを製造しているどの業者よりも、弊社ではレチクルの電場からの保護に関する深い知識を持ち、その保護を可能にする製品提供ができる強い自信をもっております。弊社の技術的な資料はResearchGateからダウンロードできます。また、 レチクルを電場から保護するための最良の方法についての詳細な説明をご要望の場合は、どうぞお気軽にお問い合わせください。
一般的な静電気散逸SMIFポッドが十分ではな理由:
通常運上時の静電気散逸レチクルポッド内部の電場データ（独Estion社提供)
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詳細についてはこちらをご参照ください。 |
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