Compatibility
弊社のSEMI規格に準拠したレチクルポッドとカセットはASML社、Canon社、Nikon社、そしてUltratech社による品質テストを経て承認をうけています。

SEMI
規格E111E112は異なるツールへの互換性を目的として導入され、これまでのSMIF規格に基づくレチクル取扱から業界共通のソリューションへ向けての取り組みに寄与しています。

しかしながら、SMIFSEMI規格E111E112が公開される10年以上も前からレチクルの取り扱いにおいて既に使用されてきました。

そこで、SEMI規格に準拠したレチクルポッドは既存の機器すべてに対応することを保証しておらず、また今後購入される機器に対応するとも限りません。

25
年以上にわたるSMIFベースレチクル取扱の経験をもとに、Microtome社は起こりうる互換性の問題に熟知しており、そして既にそれらに取り組んできました。

さらに、弊社ではポッドやカセットへの技術的観点からのアプローチをおこなっているため、今後新たな互換性の問題が判明した場合に対処出来ることと考えています。

その場合、弊社のR&R™ サービスをご利用されることにより、既存の製品の改良と修理を行い継続的な満足をご提供できることを確信しております。

どのようなツールセットにも対応できるソリューションをお客様固有にご提供することができます。

Microtome
社は互換性を保証します
最もよく知られている機器の互換性の問題のひとつには load port sensor に関するものです。

Load port のポッドセンサーのいくつかはSEMI規格E19に準拠して取り付けられていません。

さらに複雑なことに、機器供給元のなかにはload port センサーを標準とは異なる方法で使用しているケースがあります。そのため、ユーザは使用している機器に対応すべく、ポッドにあるセンサーを始動あるいは解除する必要があります。

弊社は各々の機器の仕様に対応するようにユーザが取付け・取外し可能なセンサーパッドをデザインすることによってこの問題を解決しました。


そのため、弊社の提供するSEMI規格に準拠したカセットは様々なLoadPortタイプとセンサーに対応できるように設定することが可能です。ひとつの製品で、設定を変更することによって異なる工場で使用されている様々な機器に対応することができます。


弊社の製品をご利用の際に互換性の問題に直面された場合は、お気軽にお問い合わせください。コストの面においてももっとも効率のよい方法で解決することに努めさせて頂きます。