インテグリス社との協業によって、世界で初めてパージ可能なマルチレチクルSMIFポッドシステムの提供が実現できたことを自信を持ってご報告させていただきます。以下の二つの型番の提供をしております。
99600-00P2: 弊社のSEMI E112カセットの改良型でEntegris Clarilite™ XCDA システム(ポッドを格納しているストッカー内で継続的にパージが行われます) に適合するように二つのパージバルブを備えています。
In the 99600-00P3 : カセット底面にはEntegris Clarilite™ 化学的浄化カートリッジ(ポッド内部における気中浮遊汚染物質の除去が継続的に行われます)が装着できるようになっています。
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