Products
1989年以来Microtome社は、SMIFベースのレチクル輸送ソリューションの設計及び製造に特化しています。 
 
弊社の目標は、レチクルを可能なかぎり保護できるような商品を提供することです。 この目標に向かい、お客様からのご意見や装置製造元との密接なコミュニケーションをもとに製品改良を続けています。
 
レチクル取り扱いにおけるSEMI規格が導入されてから、規格品は最新のリソグラフィーシステムに適合するように作られています。

それにもかかわらず、SEMI規格だけでは十分な性能の保証がなされていないのが現実です。 そのため、弊社ではリソグラフィー装置製造元との協業により、最も要件に適合する製品の開発を特別に行っています。
 
そこで、弊社の掲げる”SEMI規格”はSEMI規格に単に適合しているというだけではなく、リソグラフィー装置製造業者のより厳しい仕様要件を満たしているということに最も重点を置いています。弊社製品は、製造業者による品質テストを経て承認されています。
 
また、すべての工場が最新のリソグラフィー装置を使用しているとは限りませんので、5インチレチクル用のマルチカセットに最新製品の利点を組み込む改良を行いました。新しいカセットはASML 社による正式な品質テストに合格し、承認を受けています。
 
様々なレチクル取り扱いにおいて弊社は最高の環境をご提供できることに自信をもっております。 弊社の取り扱い製品の数々をこのページに記載しておりますのでご覧ください。

ご所望の製品がこのページ上のリストにない場合はお気軽にお問い合わせください。
お客様の満足のために弊社は喜んでお手伝いさせて頂きます。
Electrostatic Protection Consultancy Service

To prevent this - from educational seminars to fab-wide risk assessment of reticle handling procedures.
99100-00 E-Pod

SEMI Standard E111 single reticle SMIF pod with patent pending Faraday Cage construction for electric field shielding
99300-00 E-Pod

Canon optimised single reticle SMIF pod with patent pending
Faraday Cage construction for electric field shielding
99600-00

SEMI Standard E112 multi reticle cassette
New! 99600-00P

Purgeable SEMI Standard E112 multi reticle cassette
99500-00

Five inch cassette with integral metal SMIF base
for improved dimensional rigidity and reticle handling security
99400-00

Canon optimised six inch multi reticle cassette
21321-00

SEMI Standard E112 multi reticle pod
fitted with E47.1 automation flange
21320-00

SEMI Standard E112 multi reticle pod
fitted with standard manual handle
          Discontinued products
99747-00

Canon optimised multi reticle cassette
87620-00

Six inch multi reticle cassette with integral SMIF base
67920-00

Six inch clip-on multi reticle cassette
51170-00

Five inch multi reticle cassette with metal SMIF base
41170-00

Five inch clip-on multi reticle cassette