保管棚の傾倒
あるお客様は金属製の高い棚にレチクルを保管していました。このお客様のもとで14個のマルチレチクルポッドに棚が倒れ、レチクルの中身が床に落ちる事故がありました。弊社のR&R™闖サービス鹿a>?(写真参照)によりいくつかのポッドは修理が必要でしたが、ポッド内のすべてのレチクルはしっかりと保護されており、重大な損傷から免れました。
時間を経ても十分機能する
最近、お客さまから1995年にご購入されたタイプ67920-00のカセットの点検を依頼されました。新しいストッカーのテスト時にレチクルが損傷し、その原因がカセットにあると考えられたためです。弊社で綿密にカセットを検査したところ、12年間も工場で使用されていたのにもかかわらず、初期の仕様通りの状態であることがわかりました。最終的に、損傷はプラスチック製のSMIFポッドベースの摩耗によって起きたものだと推測されました。また、このような摩耗による問題を解決するために、SMIFレチクルカセットのタイプ87620-00の開発がおこなわれています。
完璧な動作
"私たちはSMIFポッドとレチクルカセットを受取り、先週から使用を始めました。マイクロトーム社によって保証されたように、製品は問題なく機能し、私たちはとても満足しています。私たちの多くの質問にも答えてもらえたことにも感謝しています。"
Wooshik Jung氏, 共同創立者VP、半導体エンジニアリング・製品開発、Stratio Inc.
新しいポッドとカセットの設計問題を乗り越える
評価をおこなうため、最新のポッドとレチクルカセットをPolar Semiconductorに提供しました。Polar Semiconductorの製品管理者であるDaniel Bell氏から以下のようなフィードバックをいただきました。
"“サンプルを受取り、製品の構造を大変気に入っています。旧バージョン※が抱えていた多くの問題が解消されています。"
(※旧バージョンとはマイクロトーム他社製品です)
これは、私たちが継続的に製品の改善に取り組んできた結果が、ユーザ様に価値をもたらしていることを示しています。弊社の最新製品の評価・テストの実施にご興味にある方はお問合せください。
ロードポート部分の粒子汚染の低減
大手機器メーカーは顧客のもと(マイクロトーム他社のSMIFポッドが使用されている)で新しいツールの試験運用をおこなっていました。粒子が内部のロードポート周辺で見つかり、SMIFポッドで使用されているプラスチックであることが化学的な分析によって特定されました。ロードポートの上での開閉時にポッドの摩耗が原因で粒子が発生し、ツールの中に落ちたためでした。機器メーカーはマイクロトーム社のSMIFポッドを使用して同じ検証をおこない、粒子汚染がなくはるかに綺麗な状態であることが報告されました。
容易な洗浄
米国の大手半導体メーカーのリソマネージャーは、長年使用してきたものの代替品を探しており、弊社のSMIFポッドを評価しました。彼は定期的に外部の業者にポッドの洗浄を依頼しており、マイクロトームSMIFポッドについての報告を求めました。業者から、他のどのSMIFポッドと比較しても、マイクロトームのSMIFポッドの洗浄がはるかに容易であった報告を受け、彼は満足しました。お客様はこの報告を受け、大変満足しこの内容を弊社と共有してくださると同時に、ただちに弊社のポッドの採用を開始されました。
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