Testimonials
私たちのもとには、お客様から製品についてご意見が多く届きます。お客様のご意見は大変貴重であり、私たちが開発を進める上で大変重要です。お客様との密な関係が私たちのビジネスにおいて、とても大切なことだと考えています。

お客様からの以下のコメントは、優れたレチクル保護性能をもつ弊社のポッドとカセットの開発に努める私たちの努力に対していただけたものと思っています。本ページでは、お客様から寄せられた多くのメッセージのうちのごく一部をご紹介いたします。

お客様からのご意見はすべてが製品に関するものばかりではありません。ここにご紹介しますのは、レチクルの静電気損傷に関する弊社の先進的な研究について言及したものです。


“私はTIでレチクルの静電気損傷について研究を始めた頃からGavinを知っています。この分野における彼の先見の明は、今後の興味深い発見につながることでしょう”

Patrick Gagnon氏, 計測器エンジニア、TI KFAB社

“GavinがSEMIの静電気タスクフォースグループに向けてレチクル損傷モデルと分析について発表した頃から知っています。彼はこの問題において類まれな分析スキルを持っており、半導体コミュニティ全体に対して技術的な側面を説明する能力を持っています。Gavinの研究によって何らかの変化と対応が必要となったとき、SEMI規格E163は積極的な採用をしてこなったように思います。これは世界の半導体の運用においては損失であり、この姿勢が今後変わってくることを期待しています。"

Mark E. Hogsett氏
応用エンジニアリングマネージャ
Simco-Ion Technology Group

非常に低い磁場誘起電圧がクロムマイグレーション(EFM)を引き起こすという発見が正しいことは、IBMによっても追認されています。EFMからの保護方法のガイドラインについてはITRSとSEMI標準規格E163にも含まれています。

レチクルの電場保護に関する我々の研究内容は、TMとQimondaがそれぞれ独自に行った検証によっても追認されています。半導体工場とレチクル取り扱い機器で採用されている“ESD保護”を目的とした対応が、実際には期待するような保護をもたらさないことがあることがわかっています。

より詳細については新規開発のページまたは弊社へお問い合わせください。

Micortome製品を既にご使用されており、ご意見をいただける場合は、Eメールでinfo@microtome.comまで、または問い合わせページの住所まで郵送いただけますようお願い申し上げます。

我々がレチクルの保護に少しでもお役に立てていることが最大の誇りです。

まだMicrotome製品をご使用でない方で、より詳細な情報をご希望の場合は弊社までお問い合わせください


まだマイクロトーム製品をご利用になられてない方で詳細情報必要な方も遠慮なくご連絡ください。

お客様のご意見によってご一緒にレチクル保護の向上を達成し実感したいと考えています
保管棚の傾倒

あるお客様は金属製の高い棚にレチクルを保管していました。このお客様のもとで14個のマルチレチクルポッドに棚が倒れ、レチクルの中身が床に落ちる事故がありました。弊社のR&R™闖サービス鹿a>?(写真参照)によりいくつかのポッドは修理が必要でしたが、ポッド内のすべてのレチクルはしっかりと保護されており、重大な損傷から免れました。

時間を経ても十分機能する

最近、お客さまから1995年にご購入されたタイプ67920-00のカセットの点検を依頼されました。新しいストッカーのテスト時にレチクルが損傷し、その原因がカセットにあると考えられたためです。弊社で綿密にカセットを検査したところ、12年間も工場で使用されていたのにもかかわらず、初期の仕様通りの状態であることがわかりました。最終的に、損傷はプラスチック製のSMIFポッドベースの摩耗によって起きたものだと推測されました。また、このような摩耗による問題を解決するために、SMIFレチクルカセットのタイプ87620-00の開発がおこなわれています。

完璧な動作

"私たちはSMIFポッドとレチクルカセットを受取り、先週から使用を始めました。マイクロトーム社によって保証されたように、製品は問題なく機能し、私たちはとても満足しています。私たちの多くの質問にも答えてもらえたことにも感謝しています。"

Wooshik Jung氏, 共同創立者VP、半導体エンジニアリング・製品開発、Stratio Inc.

新しいポッドとカセットの設計問題を乗り越える

評価をおこなうため、最新のポッドとレチクルカセットをPolar Semiconductorに提供しました。Polar Semiconductorの製品管理者であるDaniel Bell氏から以下のようなフィードバックをいただきました。

"“サンプルを受取り、製品の構造を大変気に入っています。旧バージョン※が抱えていた多くの問題が解消されています。"

(※旧バージョンとはマイクロトーム他社製品です)

これは、私たちが継続的に製品の改善に取り組んできた結果が、ユーザ様に価値をもたらしていることを示しています。弊社の最新製品の評価・テストの実施にご興味にある方はお問合せください。

ロードポート部分の粒子汚染の低減

大手機器メーカーは顧客のもと(マイクロトーム他社のSMIFポッドが使用されている)で新しいツールの試験運用をおこなっていました。粒子が内部のロードポート周辺で見つかり、SMIFポッドで使用されているプラスチックであることが化学的な分析によって特定されました。ロードポートの上での開閉時にポッドの摩耗が原因で粒子が発生し、ツールの中に落ちたためでした。機器メーカーはマイクロトーム社のSMIFポッドを使用して同じ検証をおこない、粒子汚染がなくはるかに綺麗な状態であることが報告されました。

容易な洗浄

米国の大手半導体メーカーのリソマネージャーは、長年使用してきたものの代替品を探しており、弊社のSMIFポッドを評価しました。彼は定期的に外部の業者にポッドの洗浄を依頼しており、マイクロトームSMIFポッドについての報告を求めました。業者から、他のどのSMIFポッドと比較しても、マイクロトームのSMIFポッドの洗浄がはるかに容易であった報告を受け、彼は満足しました。お客様はこの報告を受け、大変満足しこの内容を弊社と共有してくださると同時に、ただちに弊社のポッドの採用を開始されました。